ZX8539H半导体C-V特性测试仪

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ZX8539H半导体C-V特性测试仪:使用自动平衡电桥技术及四端对开尔文测试端、测量频率范围涵盖20Hz~10MHz,最小分辨率1mHz,基本测量精度可达0.05%。 主要用于测试半导体器件PN结的势垒电容在不同偏压(V)下的电容量(C)。ZX8539H半导体C-V特性测试仪除了可以连接电脑上位机软件扫描分析功能外,还提供在仪器大屏液晶显示器上直接显示C-V扫描曲线分析功能。这样客户不再需要为每台仪器配置一台电脑。这种方式既保证了测试效率,又降低了测试成本、还方便客户在生产线上使用。还可以把仪器屏幕上显示图形和测试数据直接拷贝到U盘。可用于分析晶圆的掺杂浓度等。 本仪器还可以测试MOS管的输入电容Ciss,输入电阻Rg等参数。同时提供了内置±10VDC电压源方便客户测试3端管子。
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产品型号

型号

简要概括

产品手册

ZX8539H测量频率范围20Hz-1MHz,最小分辨率1mHz,基本测量精度可达0.05%,DC范围-125V~125V。

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ZX8539H-2M测量频率范围20Hz-2MHz,最小分辨率1mHz,基本测量精度可达0.05%,DC范围-125V~125V。点击查看
ZX8539H-10M测量频率范围20Hz-10MHz,最小分辨率1mHz,基本测量精度可达0.05%,DC范围-125V~125V。点击查看
ZX8539H-20M测量频率范围20Hz-20MHz,最小分辨率1mHz,基本测量精度可达0.05%,DC范围-125V~125V。点击查看

 

功能与优势

● 自动平衡技术电桥,4端对开尔文测试端

● 提供内部直流偏压:-125V~+125V

● 简体中文、英文操作语言

● 绘图扫描、开路、短路、负载校正等等功能

● 进行测试数据、测试条件保存(U盘或内部)

● 绘图扫描图像直接拷屏到U盘功能

● 加强的测试端保护功能

● USB、GPIB(选件)、RS232、LAN(选件)等上位机连接接口

 

 

 

自动平衡电桥测试原理

ZX8539H采用了自动平衡电桥测试原理:将传统的简易测量运放架构,全面升级为由Lpot检零电路、0度/90度数字鉴相及调制解调电路、Lcur高频驱动电路等核心模块构建的矢量负反馈网络。这一架构革新使得测量电路的“虚地”端更加趋近理想状态,从而在各类实际应用场景中,极大地提升了仪器的测量精度与抗干扰能力,使其可以满足元件与材料大部分低压参数的测量要求。

 
 
拓宽材料可测量特性
 快速精准测量固体材料介电常数
近年来电子电力技术飞速发展,使得电子元器件的材料特性成为了影响电路行为的关键因素。在应用日益广泛的高电容多层陶瓷电容器(MLCC)制造中,需要使用高介电常数材料,在材料选定前,必须进行各项电气性能评估。ZX8538优化了其基本性能,可搭配我司介电常数专用夹具ZX85Y77(L),快速、精准测量固体材料电容值(C),以通过公式计算得到介电常数(κ),并稳定显示材料损耗因子(D)。

在集成电路、功率器件、光电器件、存储芯片等核心应用领域,半导体C-V特性是从材料、工艺到器件的可靠性基础,更是MOS管与功率器件的重要特性。因此,以该性能的测量为导向在ZX8539H中特别设计了绘图扫描功能,使得用户能够在快速精准测量其特性的同时进行便捷直观的数据分析。

 

 

半导体测量典型应用场景
 半导体C-V测量基础原理

 
 硅晶片C-V测量

 
 晶圆掺杂浓度分析

 

 

典型应用场景

 

 

液晶屏幕直观显示
 绘图扫描页面
仪器液晶屏幕可直接显示绘图扫描页面曲线,无需另外连接计算机,且可通过光标键按钮快速精准定位典型数值,便于用户快速地进行直观的数据分析。

 

参数与尺寸

型号

ZX8539H

测量电平0.005-2Vrms
测量参数C、L、X、B、R、G、D、Q、ESR、Rp、θ、|Z|、|Y|
基本准确度0.05%,具体见公司相关企业标准
测量速度快速:100次/秒、中速20次/ 秒、慢速6次/秒

 

 

 

 

 

 

显 示 范 围

|Z|,R,X0.01 mΩ~99.9999MΩ
|Y|,G, B0.00001μS~99.9999S
C0.00001pF~9.99999F
D0.00001~9.99999
L0.00001μH~99999.9H
Q0.01~99999.9
θ(RAD)-3.14159~3.14159
θ(DEG)-179.999 °~179.999°
Δ%-999.999%~999.999%
偏置电压-125VDC ~ +125VDC,精度0.05%±2mV。
DC Source-10VDC ~ +10VDC,精度0.05%±1mV。
量程方式自动、保持
触发方式内部、手动、自动、外部、总线
校准功能开路/短路、扫频清零、点频清零
等效电路串联、并联
比较器十档分选,BIN0~BIN9、NG、AUX
PASS、HI、LOW(PASS/FAILLED显示)
接口RS232C、UsbHost、USB Device、Handler、GPIB(选件)
温度湿度0℃~40℃,相对湿度≤75%
电源要求100~120 Vac或198~242 Vac
46~64 Hz,功率大于75 VA
体积(WxHxD)430mmx177mmx413mm
重量(净重)8.5kg

单位:毫米(mm)

附件&选配件

ZX28Y10

ZX28Y10

ZX28Y05

ZX28Y05

ZX28Y11A

ZX28Y11A

ZX28Y09

ZX28Y09

ZX28Y08

ZX28Y08

ZX85Y47

ZX85Y47

资料库

ZX8539H_vs_E4980A_选型对比表

2026-05-12

解决方案

暂无数据

暂无数据

客户问答

问:ZX8539H 与 Keysight E4980A 相比,在技术参数、功能特性、应用价值和综合成本四个维度上具体有哪些差异?

答:ZX8539H 与 E4980A 的基本精度均为 0.05%。ZX8539H 提供 20MHz 频率版本(E4980A 为 2MHz),内置 ±125VDC 偏置电压(E4980A 需选配 ±40V)。ZX8539H 采用 C-V 一体式设计,内置大屏可直接显示 C-V 曲线,无需外接电脑;支持 MOS 管 Ciss/Rg 一键测试及 U 盘数据导出。综合成本方面,ZX8539H 与 E4980A 在采购价格、配套投入及维护费用等方面存在差异。详见本文件《ZX8539H_vs_E4980A_选型对比表.pdf》。

(说明:本对比表基于双方公开资料整理,不含任何贬低性表述,仅为节省工程师自行查阅对比的时间,方便您快速选型参考。)

问:单测时(测量显示页面),明明第二行副参数不在上下限范围内,但仪器还是显示pass,为什么?

答:如若需要连副参数一起判断,需要在分档设置里将“附属”打开。

问:绘图扫描功能中,谐振点频率位置和阻抗不对,怎么办?

答:绘图扫描一般需要进行短路全频清零,如若用测试线进行测试,则要确保短路清零时测试线的位置和测试的时候的位置一样,避免因测试线位置变动导致的清零偏差。

问:绘图扫描功能中,图像显示只有一条曲线,不方便观察,如何解决?

答:可以在绘图设置中将绘图改为A+B,Y轴更改为LOG。

问:仪器检测到不良品未触发报警,或者持续报警,是什么原因?

答:▪  检查是否设置了上下限以及标称,并且打开了比较功能。

         ▪  检查蜂鸣器讯响有没有设置好,在“系统”中找到“合格讯响”和“失败讯响”,更改为想要的模式。

问:清零时数据跳动幅度大,状态不稳定,为什么?

答:夹子短接时,需要注意将对应颜色或有测试线的夹子(红对蓝、黑对白)夹在同一侧。

问:连接PLC时发现仪器输出信号无效,怎么解决?

答:仪器handler接口默认输出电平方式为“保持”模式,可以将其更改为“延时清除”或“开始清除”。

问:检测产品时发现实际测量数值和标准值差别很大,是什么原因?

答:▪  检测短路数值(注意夹子夹的方式)是否为0mΩ附近,测试环境发生变化时需要重新清零,如更换治具、测试线等。

         ▪  检查是否进行了补偿,可以尝试关闭补偿并重新清零。

         ▪  如若测试线较长,转接较多,线材较老,则需要检查4条测试线有无开路或者接触不良的情况。

         ▪  检查仪器量程是否和被测产品相符合,量程差异过大会造成测量结果偏差。

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