ZX8533 SCPI 指令速查手册

适用机型:ZX8533A/S/MGT、ZX6538A/B | 版本:VER:3.1.11+(2026-10)| 表格中命令可点击复制

1. 快速上手

项参数
RS232 / USB CDC9600 8N1 起(系统设置可改波特率倍率),命令以 (LF)结尾,应答以 结尾
GPIB / USBTMC标准 VISA 寻址,EOI 结尾
RS485走 Modbus RTU 协议栈,不走本手册的 SCPI 指令
大小写不敏感;长短名等价(如 :FREQuency = :FREQ)
多命令一行内用 ; 分隔;; 后带 : 表示新根命令,不带表示同根

开机三连测:

*IDN?           → ZXP,ZX8533A,ZB23098357,VER:3.1.11   (读到即通讯正常)
:FREQ?          → +1.00000E+03                        (当前频率 1kHz)
FETC?           → +2.17034E-06,+4.24065E-04,+0,+0     (主参数,副参数,状态,Bin号)

2. 指令总表

图例:查询 仅读取 设置 写/执行 挂起 测量/校正完成才应答 写Flash 持久化

2.1 公共命令(IEEE 488.2)

命令(点击复制)类型功能 / 应答
*IDN?查询仪器识别:ZXP,型号,序列号,版本
*RST设置复位到出厂默认设置
*TRG设置挂起总线触发(需 :TRIG:SOUR BUS 且 INIT:CONT ON),测量完成后自动输出结果
*OPC设置登记"操作完成":所有挂起操作完成后置 ESR 的 OPC 位(bit0)
*OPC?查询挂起等待所有操作完成才回 +1(详见第 3 章)
*WAI设置挂起等待所有挂起操作完成(无应答)
*CLS设置清空全部状态/事件寄存器和错误队列(轮询同步每周期必须调用,见 3.1)
*ESE <n>设置写标准事件使能寄存器(0~255)
*ESE?查询读 ESE,如 +1
*ESR?查询读标准事件寄存器(读后清零):+32=命令错误、+1=操作完成、+128=上电
*SRE <n>设置写服务请求使能寄存器
*SRE?查询读 SRE
*STB?查询读状态字节(只读):bit4(16)=有数据MAV、bit7(128)=操作状态汇总
*TST?查询自检,恒回 +0
*LRN?查询整机设置快照(可回放的复合命令串)

2.2 测量条件(频率/电平/速度/内阻/偏置)

命令类型功能 / 应答
:FREQ 100K设置设测量频率 100kHz(支持 Hz/kHz/MHz 后缀、MIN/MAX)
:FREQ?查询+1.00000E+05
:VOLT 0.5设置设电压电平 0.5V(5mV~2V,切入电压模式)
:VOLT?查询+5.00000E-01
:CURR 10m设置设电流电平 10mA(50uA~20mA,切入电流模式)
:CURR?查询+1.00000E-02
:APER MED设置测量速度 SHORt/MED/LONG/LONG2,可带平均次数 :APER MED,10
:APER?查询MED, 1
:RSOU 100设置输出内阻 30/100/LOWZ
:RSOU?查询100
:AMPL:ALC ON设置电平自动调整 ON/OFF
:AMPL:ALC?查询1/0
:BIAS:STAT ON设置偏置开关 ON/OFF
:BIAS:VOLT 2设置偏置电压(上限视偏流源:内部2V/外部10V/选件40V)
:BIAS:CURR 0.1设置偏置电流(IntBias 时静默无效)
:OUTP:HPOW INT设置写Flash偏流源 INT/OPT1/EXT(BiasOn 时拒绝)
:OUTP:DC:ISOL OFF设置DC 隔离 ON/OFF

2.3 测量功能与量程

命令类型功能 / 应答
:FUNC:IMP CPD设置测量功能:CpD/CpQ/CsD/CsRs/LpD/LsQ/ZTD/RX/DCR 等(见 FuncTokTab)
:FUNC:IMP?查询cpd
:FUNC:IMP:RANG 100设置锁定量程 100Ω(设后自动关 AUTO;支持 kohm/mohm 后缀)
:FUNC:IMP:RANG:AUTO ON设置自动量程 ON/OFF
:FUNC:SMON:VAC ON设置源电压监控 ON/OFF
:FUNC:DEV1:MODE PERC设置偏差模式 ABS/PERC/OFF(DEV2 同理)
:FUNC:DEV1:REF 100设置偏差参考值
:FUNC:DEV1:REF:FILL设置用当前测量值填充参考值

2.4 取数(核心)

命令类型功能 / 应答
FETC?查询挂起取最新测量:主参,副参,状态,Bin号(测量中会等新结果,见第3章)
FETC:IMP?查询挂起同 FETC?
FETC:MPRES?查询挂起多参数取数:4或6个参数+总合格位(空夹具检空开启且无件时全0)
FETC:SMON:VAC?查询挂起源电压监控值(未开启回 +9.90000E+37)
FETC:IMP:AUTO OFF设置关闭自动发送(每次测量后主动发数)
:FORM ASC设置FETCh 应答格式 ASC/HEX

2.5 触发

命令类型功能 / 应答
:TRIG:SOUR BUS设置触发源 INT/EXT/BUS/HOLD
:TRIG:SOUR?查询INT
:TRIG设置立即触发一次
:TRIG:DEL 0.01设置触发延时(秒,最大60s)
:INIT:CONT ON设置连续测量 ON/OFF
:INIT:IMM设置立即初始化(配合 *TRG)

2.6 校正(对齐 E4980A)

命令类型功能 / 应答
:CORR:OPEN设置挂起写Flash全点开路校正(夹具保持开路!校正完成才应答后续命令)
:CORR:SHOR设置挂起写Flash全点短路校正(夹具短路)
:CORR:OPEN:STAT ON设置写Flash开路校正数据启用 ON/OFF(SHOR/LOAD 同理)
:CORR:LENG 1设置写Flash电缆长度 0/1/2/4 m(2m/4m 需 OEM 校准数据)
:CORR:LOAD:TYPE CPD设置写Flash负载校正的功能类型
:CORR:SPOT1:FREQ 1K设置写Flash点频校正点 1~201(对齐E4980A):设 n 号点频率
:CORR:SPOT1:STAT ON设置写Flash启用 n 号点(SPOT1~SPOT201)
:CORR:SPOT1:OPEN设置挂起写Flashn 号点开路校正(SHOR/LOAD 同理)
:CORR:SPOT1:LOAD:STAN 100,0设置写Flashn 号点负载标准值 A,B
:CORR:SPOT1:FREQ?查询+1.00000E+03
:CORR:USE:DATA?查询SPOT1~3 的开/短/负载数据(18 个数)
:CORR:DCR:OPEN设置DCR 开路校正(SHOR 同理)

2.7 比较器(分档)

命令类型功能 / 应答
:COMP ON设置比较器开关
:COMP:MODE ATOL设置模式 ATOL/PTOL/SEQ/DIR(切模式清空极限表)
:COMP:TOL:NOM 0.0001设置标称值
:COMP:TOL:BIN1 -1,1设置BIN1~BIN10 上下限(未设回 9.9E37)
:COMP:SEQ:BIN 0,1,2,3,4,5,6,7,8,9,10设置SEQ 模式 11 个边界(需先 MODE SEQ)
:COMP:SLIM -0.01,0.01设置副参数极限
:COMP:SWAP ON设置主副参数交换
:COMP:BIN:COUN:DATA?查询BIN1~9,AUX,OUT 共 11 个计数
:COMP:BIN:COUN:CLE设置清零分档计数

2.8 列表扫描(含川翔双频定制)

命令类型功能 / 应答
:LIST:MODE SEQ设置SEQ/STEP 扫描模式
:LIST:FREQ 1K,10K,100K设置最多 10 点频率表(VOLT/CURR/BIAS:VOLT 同构)
:LIST:BAND1 A,-1,1设置BAND1~10 比较带:A/B/OFF,下限,上限
:LIST:CLE设置清空扫描表
:LIST:TMOD DIR设置川翔双频极限模式 PTOL/DIR(影响 MPLMT? 应答)
:LIST:TFR1 1K设置川翔双频频率1(TFR2=频率2)
:LIST:FLMT:BIN1 -1.0E-6,+1.0E-6设置双频 C 极限 BIN1~3(SLMT=D 极限)

2.9 多参数(MGT 固态电容)

命令类型功能 / 应答
:MPSET:LINE1 CPD,1K,1,ON设置第1~6行测量条件:功能,频率,电平,开关
:MPSET:LINE1?查询CpD,+1.00000E+03,+1.00000E+00,ON
:MPSET:LINE1:SPEED FAST设置行速度 FAST/MED/SLOW
:MPSET:LINE1:LIM ABS设置行极限模式 ABS/PERC
:MPSET:LINE1:DEL 0.001设置行延时(秒)
:MPSET:LINE1:OFFSET 0.0设置行补偿值(OFFS 短名也支持)
MPSET:OPEN设置多参数开路清零(自动切多参数测量页)
MPSET:SHOR设置多参数短路清零
MPSET:OPE?查询多参数开路清零数据(6 个值)
MPSET:OPSH ON设置清零数据有效开关
MPSET:OSW ON设置补偿开关
MPSET:FCHK ON设置夹具检空开关(202610 新增,空夹具→显示NC/PIN9/数据全0)
MPSET:FCHK?查询1/0
MPSET:HOUT 8516GT设置Handler 输出模式 LPASS/LFAIL/APASS/8516GT
MPLMT ABS设置极限模式 ABS/PERC(DIR 由 LIST:TMOD 设置)
MPLMT?查询ABS/PERC/DIR
:MPLMT:LINE1 100u,90u,110u设置第1~6行极限:标称,下限,上限
:MPLMT:LINE1?查询+1.00000E-04,+9.00000E-05,+1.10000E-04

2.10 系统/状态/文件/其他

命令类型功能 / 应答
SYST:ERR?查询读错误队列(读出即清):+0,"No error" 或 -102/-113(见第4章)
SYST:TIME?查询9,57,12(时,分,秒;可 set)
SYST:DATE?查询2026,10,13(可 set)
SYST:FSH 1设置E4981A 频率偏移 -2%~+2%
:STAT:OPER?查询操作事件寄存器(读后清):+16=测量完成、+1=校正完成
:STAT:OPER:COND?查询操作条件寄存器(只读):16=测量中、1=校正中
:STAT:OPER:ENAB 16设置操作事件使能(轮询同步用,见 3.3)
:STAT:FOOT?查询脚踏/Handler 触发握手(读后清)
:DISP:PAGE MEAS设置切页面:MEAS/BNUM/BCO/LIST/MSET/CSET/LTAB/LSET/SYST/MPSET/MPLMT/MPDISP
:DISP:LINE "HELLO"设置消息行显示(≤20 字符,仅文件列表页可见)
:MMEM:LIST?查询内部文件列表
:MMEM:LOAD:STAT 1设置载入 1 号文件(覆盖当前设置)
:MMEM:STOR:STAT 1设置写Flash保存到 1 号文件
:RS232:PRIN ON设置测量结果自动发送(RS232/CDC)

3. 取数与等待逻辑专题(上位机必读)

核心矛盾:测量要几十~几百 ms,上位机发取数命令时结果可能还没出来。本仪器提供 4 种同步方式,按上位机需求选择。记住一个前提:本机的 FETCh? 会等待一次"新"测量完成才应答(与 Keysight 标准不同——E4980A 的 FETCh? 直接回上次结果)。

3.1 场景一:*STB? 轮询(上位机首选,RS232 界面流畅的唯一正解)

本厂上位机实测在用的方式:取数后清一次状态,然后短读轮询状态字节,128(测量完成事件汇总位)出现即取数。带界面的上位机都应该用这种方式。

// 初始化一次即可
write(":STAT:OPER:ENAB 16
");   // 使能"测量完成"事件位

// 每个测量周期:
write("FETC?
");  readline(buf);          // 取本次数据
write("*CLS
");                            // ★关键:重新武装(清事件寄存器)
                                            //  也可用 :STAT:OPER? 读一次代替*CLS
while (1) {
    write("*STB?
"); readline(buf);       // 每次几ms就返回,UI不卡
    if (atoi(buf) & 128) break;            // 128=新测量完成
    sleep_ms(30);                          // 渐进退避可再放宽
}
// 跳出循环 = 有新数据 → 回到顶部 FETCH

为什么每周期要 *CLS(或读一次 :STAT:OPER?):事件寄存器是锁存的——置位后只能靠 *CLS 或 :STAT:OPER?(读后清)清除。不清的话 STB 的 128 位永远是 1,轮询逻辑直接失效。这是 IEEE 488.2 标准语义。

3.2 场景二:SRQ 事件驱动(GPIB/USBTMC,最高效)

// VISA 伪代码
viWrite(":INIT:CONT ON
*ESE 1
*SRE 32
");  // ESE.0=OPC, SRE.5=ESB
viEnableEvent(SRQ);                            // 注册SRQ回调
viWrite("*TRG
");                             // 触发(测量完成自动上报)
// 测量完成 → 仪器 STB 上报 SRQ → VISA 回调被调用 → 回调里 FETCh? 取数

完全不轮询,最高效;RS232 没有 SRQ 线,用不了(串口就用 3.1)。

3.3 场景三:最简单——直接 FETCh?(入门/快速验证)

仪器内部会把 FETCh? 挂起,等当前测量完成后才应答。上位机只需注意读超时设置大于测量周期(快速档 ~50ms,慢速档可能数百 ms,建议超时 ≥2s 兜底)。

// C 伪代码(RS232/CDC 通用)
write(":FREQ 100K
");                 // 设条件
write("FETC?
");
char buf[128];
readline(buf, timeout=2000);           // 仪器自动等新测量完成后才回
// buf = "+2.17034E-06,+4.24065E-04,+0,+0"

注意:外触发(EXT)模式下如果迟迟没有触发信号,FETCh? 会一直等——上位机超时后按 ESC 或切页可解锁(202610 后固件已加固,不会死锁)。

3.4 场景四:*OPC? 阻塞式同步(脚本/工装最省事)

write(":CORR:SHOR
");      // 发起短路校正(慢操作)
write("*OPC?
");            // 仪器挂起,直到校正完成才回 +1
readline(buf, timeout=60000); // 校正很慢,超时给足
// 收到 +1 = 校正真的完成了

适用:测试工装、产线脚本等"代码越短越好、不在乎阻塞"的场景。串口上位机带界面的不要用这个——会卡 UI(用 3.1 的轮询)。

3.5 场景五:*OPC + *ESR? 事件查询(不挂起解析器)

write("*CLS
");                  // 清事件
write("*ESE 1
");                 // 使能 OPC 位
write(":CORR:OPEN
");            // 发起校正
write("*OPC
");                   // 登记:完成后置 ESR bit0
// ... 上位机去干别的 ...
write("*ESR?
"); readline(buf);  // 轮询事件寄存器
if (atoi(buf) & 1) { /* OPC=1, 校正完成 */ }

3.6 四种方式选择速查

上位机类型推荐方式总线
带界面的上位机(要流畅)3.1 *STB? 轮询全部(RS232 唯一选择)
多仪器/多线程(要高效)3.2 SRQ 事件仅 GPIB/USBTMC
脚本/工装(代码最短)3.3 FETCh? 或 3.4 *OPC?全部
不挂起解析器的事件式3.5 *OPC+*ESR? 轮询全部

4. 错误代码表(SYST:ERR?)

202610 起仪器内置 IEEE 488.2 标准错误队列:每条错误入队,SYST:ERR? 逐条读出(读出即清除),空队列回 +0,"No error",*CLS 清空队列。队列满(16 条)时丢弃最旧并置 ESR 的 QYE 位。

代码文本含义 / 触发场景E4980A 对照
+0"No error"队列空一致
-102"Syntax error"语法错误:参数格式错、子命令名错、点号越界(如 SPOT202)等一致(标准码)
-113"Undefined header"未定义的命令头(命令名打错,如 :BADCMD)一致(标准码)
-350"Queue overflow"输出缓冲写满(应答超长被截断时上报,原先是静默丢失)一致(标准码)
配套关系:命令出错时三个通道同时反映——
① 屏幕消息行红字显示错误命令(前 10 字符);
② 错误队列(SYST:ERR? 可读详情);
③ *ESR? 的 CME 位(+32)置位(标准 488.2 汇总)。
调试建议:上位机每条命令后不必查错;联调阶段在关键节点发一次 SYST:ERR? 即可。错误队列读空为止。

5. E4980A 兼容性说明

项本机E4980A说明
点频校正范围SPOT1~201SPOT1~201完全一致(202610 对齐)
FETCh? 语义等新测量完成才应答回最近一次结果有意差异(产线 PLC 习惯);要新数据用 READ? 语义请改用 :TRIG + 轮询
错误码-102/-113/-350同标准码一致
应答数值格式%+12.5E%+12.5E一致
长短名短名=大写前缀(标准)同中间长度缩写两边都不支持
本手册基于 ZX8533 VER:3.1.11+ 固件实际实现编写(2026-10),命令行为经金样本实测验证。文档配套:tools/golden_commands_full.txt(全指令测试清单)、golden_capture.ps1(采集脚本)。